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潔凈室定義與測試規(guī)范概述

更新時間:2015-08-18      點擊次數(shù):2075

  潔凈室的定義,早是在美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209上出現(xiàn),之后日漸普及并廣為半導(dǎo)體業(yè)與制藥業(yè)接受。到了90年代后期,產(chǎn)業(yè)界體認(rèn)到若是無共同標(biāo)準(zhǔn),就不能實現(xiàn)經(jīng)濟(jì)的化,于是有ISO-14644的產(chǎn)生。以下說明潔凈室的各種標(biāo)準(zhǔn)與規(guī)范。

  Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) :美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E,209的出版發(fā)行,是在1960年代,之后不斷改版以因應(yīng)科技與工業(yè)發(fā)展,版本從原始的209、209A,一直到1992年的后一版209E。在2001年11月29日,美國正式宣布廢止209E,改用ISO-14644,于是209E在書面上走入歷史。但是在產(chǎn)業(yè)界,除了部份的歐洲公司之外,美國、日本、中國臺灣、與中國大陸,都還沿用209E。

  ISO-14644系列;美國政府為了推動經(jīng)濟(jì)化,就很大方的放棄了自己的209E,改而推行全部使用公制的標(biāo)準(zhǔn)ISO-14644。14644系列有8個子題,稱為14644-1,14644-2,一直到14644-9。整個系列涵蓋了等級定義、測試與監(jiān)視的規(guī)范、測試的程序方法、設(shè)計與建造、操作、以及其它的有關(guān)設(shè)備等,范圍很廣。

  JIS B9920 (1989):日本的潔凈標(biāo)準(zhǔn),規(guī)定潔凈室中浮游粒子的濃度測定方式,及潔凈度的等級定義。

  VDI 2083 (1993):德國的潔凈標(biāo)準(zhǔn),規(guī)定潔凈度等級的定義方式,以及潔凈度的量測技術(shù)。

  Gost-R 50766 (1995):俄國的潔凈標(biāo)準(zhǔn),定義潔凈室的分類與一般需求。

  以上是潔凈室等級規(guī)定,與潔凈度量測的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)。另外有關(guān)潔凈室污染控制(也就是潔凈度控制),和環(huán)境控制(如溫濕度、震動噪音等),也有一些重要的測試規(guī)范,因為這些環(huán)境影響因素,都包含在潔凈室性能測試的范圍之內(nèi)。

  IEST-RP-CC-006.2:這本有名的測試規(guī)范,目的就是為了補(bǔ)209的不足。209只有微粒量測,006 包括了風(fēng)速風(fēng)量、濾網(wǎng)泄漏、潔凈度、溫濕度、平行度、恢復(fù)率、粒子沉降測試、照度等。006 的*版稱為006-84-T,006.2是第二版。現(xiàn)在由于 NEBB 的興起,0062已經(jīng)功成身退,逐漸消失了。

  NEBB 潔凈室測試規(guī)范第二版:這是目前廣為流行的測試規(guī)范,提到潔凈室認(rèn)證,就非 NEBB 莫屬。NEBB 潔凈室測試規(guī)范,可說是IEST-0062的改良版,其測試涵蓋范圍差不多,但是測試程序更為清楚嚴(yán)謹(jǐn),儀器使用也有詳細(xì)規(guī)定。因此 NEBB 潔凈室測試規(guī)范的出現(xiàn),解決了不少測試的爭議,也因此 NEBB 潔凈室測試規(guī)范成功的成為產(chǎn)業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。 潔凈www.jiejing。。org- MNxNhtbBSEeS*bvF

  ISO-14698 系列:14698 有三個子題,是有關(guān)生物污染的控制。

  每一種行業(yè),甚至每公司或工廠,對潔凈室的要求可能都不一樣。



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